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TECHNICAL ARTICLES管材内部非接触式光学扫描仪 粗糙度测量PZ-30LS
非接触粗糙光学扫描仪是一种通过彩色激光光源发射出一束高密度宽光谱光,通过色散镜头后,在量程范围内形成不同波长的单色光,每个波长对应一个距离值。测量光射到物体表面反射回来,只有满足共聚焦条件的光,可以通过小孔被光谱仪感测到。通过计算被感测到光的焦点的波长,换算获得距离值。它被广泛应用在各种不同的精密产业中如油墨厚度测量,MLCC厚度测量,厚膜电路测量,银浆厚度测量,激光刻蚀测量,涂胶厚度测量,半导体、特种材料表面粗糙度测量,院校、研究所和计量检定部门的计量室、试验室以及生产车间的检测设备之一。
PZ-30LS由压电电动台和光谱共焦位移传感器组成,进行二维轮廓采集。传感器的测量头垂直平台固定,通过控制软件控制平台X方向移动从而进行扫描。
PZ-30LS主要由光谱共焦位移传感器、运动平台和采集控制软件CLS-3000组成,以下分别介绍:
传感器是基于彩色激光共焦原理来测量距离的,通过一根专用光线光纤和测量头连接。光源为内置LED光源,接入电源为24V DC,主要依靠以太网接口进行数字输出数据,PZ-30LS通过I/O触发传输数据。有关传感器CDS-700的设置参考CDS-700使用手册。
平台由运动部分和控制软件组成,X轴都采用的是压电电机,扫描速度可以达到20mm/s。通过控制软件可以控制X平台按照既定方式运行。
PZ-30LS非接触式光学扫描仪主要用于对平面、曲面的扫描以获取轮廓曲线,精度高,操作简便。主要用于测量产品/样品的外部轮廓,包括凸起高度,凹陷深度,粗糙度,样品截面轮廓曲线等等,结合测量软件可以得到轮廓曲线各点的数据,测量软件兼有计算功能,可以快速准确的计算出所需要参数。