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平面度测量仪常见的几种测量方式

更新时间:2025-07-02点击次数:37

平面度,是属于形位公差中的一种,指物体表面具有的宏观凹凸高度相对理想平面的偏差。

平面度误差是将被测实际表面与理想平面进行比较,两者之间的线值距离即为平面度误差值;或通过测量实际表面上若干点的相对高度差,再换算以线值表示的平面度误差值。

在传统的检测方法中,平面度的测量通常有:塞规/塞尺测量法、液平面法、激光平面干涉仪测量法(平晶干涉法)、水平仪/数字水平仪测量法、以及打表测量法。

塞尺测量法  

塞尺主要用于间隙间距的测量,对平面度的测量只能进行粗测。塞尺使用前必须先清除塞尺和工件上的污垢与灰尘。使用时可用一片或数片重叠插入间隙,以稍感拖滞为宜。测量时动作要轻,不允许硬插。也不允许测量温度较高的零件。目前很多工厂仍使用该方法进行检测。由于其精度不高,常规最薄塞尺为10um,检测效率较低,结果不够全面,只能检测零件边缘。

液平面法

液平面法是用液平面作为测量基准面,液平面由 “连通罐"内的液面构成,然后用传感器进行测量。基于连通器工作原理,适合测量连续或不连续的大平面的平面度,但测量时间长,且对温度敏感,仅适用于测量精度较低的平面。

激光平面干涉仪测量法

典型的用法是平晶干涉法,用光学平晶的工作面体现理想平面,直接以干涉条纹的弯曲程度确定被测表面的平面度误差值,但主要于测量光洁的小平面的测量,如千分头测量面,量规的工作面,光学透镜。激光干涉仪现因其体积小,重量轻、无需外接电源的特点被广泛地应用在光学加工企业,光学检测机构以及其他要进行光学表面检测的场合。


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