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更新时间:2025-11-19
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非接触式三维轮廓仪也叫光学3D表面轮廓仪、白光干涉仪、光学轮廓仪等,是利用光学干涉原理研制开发的超精细表面轮廓测量仪器。

功能
角度处理:两直线夹角、直线与Y轴夹角、直线与X轴夹角
点线处理:两直线交点、交点到直线距离、交点到交点距离、交点到圆心距离、交点到点距离
圆处理:圆心距离、圆心到直线的距离、交点到圆心的距离、直线到切点的距离
线处理:直线度、凸度、LG凸度、对数曲线
主要用于对各种精密器件表面进行纳米级测量,仪器通过测量干涉条纹的变化来测量表面三维形貌,用于精密零部件之重点部位表面粗糙度、微小形貌轮廓及尺寸的非接触式快速测量。
主要测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面,从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等,对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。



