一、原理不同:金相光学显微镜是利用几何光学成像原理进行成像的，而扫描电镜是利用细聚焦电子束在样品表面扫描时激发出来的各种物理信号来调制成像的。用高能量电子束轰击样品表面，样品表面被激发出各种物理信号，利用不同的信号探测器接受物理信号，再转换成图像信息。

　　二、光源不同:金相光学显微镜是采用可见光作为光源来成像，而扫描电镜是采用电子束作为光源成像。

　　三、分辨率不同:金相光学显微镜受到可见光的干涉与衍射作用，分辨率只能局限于0.2-0.5um之间。扫描电镜由于采用电子束作为光源，其分辨率可达到1-3nm之间，因此金相光学显微镜的组织观察属于微米级分析，扫描电镜的组织观测属于纳米级分析，扫描电镜获得的样品信息更丰富。

　　四、景深不同:一般金相光学显微镜的景深在2-3um之间，因此对样品的表面光滑程度具有*的要求，所以制样过程相对比较复杂。扫描电镜的景深则是金相光学显微镜的几百倍，但由于其成像原理所限，要求样品表面必须导电，因此要对样品表面做导电处理。

　　通过以上对比，可以清楚的了解到，金相光学显微镜是用入射照明来观察金属样品表面(金相组织)的光学显微镜。目前使用的金相光学显微镜都是将光学显微镜技术、光电转换技术、计算机图像处理技术结合在一起，能很方便的在计算机上观察金相图像，并利用软件对金相图谱进行测量、分析、评级等。还可以对图片进行输出、打印和存储。金相光学显微镜相对扫描电镜来说，分辨率小，放大倍数小。但金相光学显微镜更易操作、视场较大、价格相对更低廉。

　　扫描电镜是电子光学仪器。相比金相光学显微镜放大倍数可调范围宽、图像的分辨率高、景深大，图象富立体感，获得样品信息更丰富，在应用上比金相光学显微镜更为深入和广泛。