超景深三维显微镜与白光干涉仪的区别

超景深（聚焦变化法）主打：彩色成像、大落差、陡峭侧壁、缺陷观察；白光干涉仪（WLI/CSI）主打：纳米级粗糙度、台阶高度、面型、薄膜厚度，精度高，但对反射面要求高、陡坡测不好。

原理不同

- 超景深显微镜（Focus Variation，景深合成）

Z轴逐层拍多张图像，算法提取每一层里清晰的区域合成一张全焦清晰图，依靠清晰度变化反推高度，属于成像优先的显微设备。

- 白光干涉仪（White Light Interferometry，相干扫描干涉）

白光分成参考光、样品光，两束光反射后发生干涉；只在表面高度匹配时出现干涉条纹，靠干涉信号包络定位高度，是干涉计量型轮廓仪。

精度（Z向垂直分辨率）

- 超景深：纳米~微米级，一般几十nm ~ 1μm，适合高度差、轮廓、尺寸测量；彩色真彩图像是它很大优势

- 白光干涉仪：亚纳米级（0.1nm级别），是光学粗糙度测量，适合Ra、Rq、台阶高度、平面度、薄膜厚度定量检测