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测量分析显微镜

产品简介

测量分析显微镜是一种兼顾影像、目视与纳米高度测量多用的高精度、高效率测量仪器。该产品具有电视成像与目视光学两套瞄准系统,可人工观察金属表面的金相组织结构,是集光、机、电、算、影像于一体的显微镜。该产品以二维测量为主,也可作三维辅助测量,广泛应用于电子组件、精密模具、塑料、PCB加工方面、镀膜厚度、手机玻璃等工业领域。

产品型号:PZ-3020MA
厂商性质:生产厂家
访问量:1537
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产品简介:

测量分析显微镜是一种兼顾影像、目视与纳米高度测量多用的高精度、高效率测量仪器。该产品具有电视成像与目视光学两套瞄准系统,可人工观察金属表面的金相组织结构,是集光、机、电、算、影像于一体的显微镜。该产品以二维测量为主,也可作三维辅助测量,广泛应用于电子组件、精密模具、塑料、PCB加工方面、镀膜厚度、手机玻璃等工业领域。

产品特点:

1. X、Y、Z三轴0.5μm分辨力

2. 电动Z轴分辨力0.1μm

3. 具有高度自动测量

4. 内建偏光测量光学模块

5. 高速/无接触测量

6. 同轴光/底光测量

7. 可搭配白光纳米检测模块测量纳米级厚度


测量分析显微镜技术规格参数:

型号

PZ-3020MA

工作台

金属台尺寸(mm)

500 x 330

玻璃台尺寸(mm)

350 x 250

X、Y轴运动行程(mm)

300 x 200

手动Z轴行程(mm)

120

自动Z轴行程(mm)

2

外形尺寸(mm)

825 x 660 x 910

仪器重量(kg)

130

X、Y、Z轴分辨力(μm)

0.5

自动Z轴分辨力(μm)

0.1

示值误差(μm)

E1XY=( 2.5+ L/100) μm (L为测量长度,单位mm)

物镜放大倍数误差

包括畸变在内的放大率误差≦0.08%

落射照明光源

可调高亮度卤素灯

底光照明光源

可调高亮度LED灯源

 

目视系统

影像系统

物镜放大倍数

5X、10X、20X、50X

5X、10X、20X、50X;10X Mirau物镜

目镜放大倍数

10X双镜筒

1/2”CCD摄像机

视频总倍率

50X ~500X

142.5X ~1425X (19.5”显示器,分辨率1440 x 900)

单层透明膜厚度测量模组

高精度测量模式

快速测量模式

厚度测量范围

100nm ~300nm

300nm ~500nm

500nm ~3μm

3μm ~20μm

分辨力

5nm

5nm

7.5nm

0.1μm

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