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材料表面3D轮廓仪具有专业的测量能力,可在几秒内就完成整个视场的扫描得到测量样品的3D图形与高度数据,检测速度与深度量测能力优于逐点逐面扫描的共焦扫描显微镜,3D图形量测能力又优于扫描式电子显微镜的2D平面检测能力,且不需要使用电子束或雷射,开机快又安全,维护成本更低。
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