硅片检测显微镜

硅片检测显微镜

高精度粗微动调焦机构

采用底手位粗微调同轴调焦机构，左右侧均可调节，微调精度高，手动调节简单方便，用户能够轻松得到清晰舒适的图像。粗调行程为38mm，微调精度0.002。

大尺寸机械移动平台

采用180×155mm的大尺寸平台，右手位设置，符合常规人群操作习惯。用户操作过程中，便于调焦机构与平台移动的操作切换，为用户提供更加高效的工作环境。

落射柯拉照明系统

采用180×155mm的大尺寸平台，右手位设置，符合常规人群操作习惯。用户操作过程中，便于调焦机构与平台移动的操作切换，为用户提供更加高效的工作环境。

硅片检测显微镜参数

光学系统

有限远色差光学系统

观察筒

45°倾斜，三目观察筒，瞳距调节范围:54-75mm，分光比：80:20

目镜

高眼点大视野平场目镜PL10X/18mm，可带测微尺

高眼点大视野目镜WF15X/13mm，可带测微尺

高眼点大视野目镜WF20X/10mm，可带测微尺

物镜

长工作距平场消色差金相物镜（5X、10X、20X、50X 、100X）

转换器

内定位四孔转换器

内定位五孔转换器

调焦机构

低手位粗微调同轴调焦机构，粗动每转行程38 mm；微调精度0.02mm

载物台

三层机械移动平台，面积180mmX155mm，右手低手位控制，行程：75mm×40mm

落射照明系统

落射式柯拉照明系统，带可变孔径光栏和中心可调视场光栏，自适应宽电压100V-240V，单颗5W 暖色LED灯，光强连续可调

落射式柯拉照明系统，带可变孔径光栏和中心可调视场光栏，自适应宽电压100V-240V，6V30W卤素灯，光强连续可调

摄影摄像

0.5X/1X摄像接筒，C型接口，可调焦

其他

起偏镜插板，固定式检偏镜插板，360°旋转式检偏镜插板；滤色片组；高精度测微尺