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产品简介
端子平坦度共面性测试仪集成微米级高精度的激光线扫3D 测量与视觉影像测量功能，适用于多种封装类型芯片的焊球和引脚共面性的 微米级测量，如BGA封装的焊球共面性测量，SOP、QFP、TSSOP等封装的引脚共面性测量，焊球直径、引脚宽度、间距测量， 同时也可用于PCB 板及其器件的宽度、高度、位置度、平面度等测量。
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端子平坦度共面性测试仪特点
采用微米级高精度线激光测量和影像测量相结合，精度高于普通结构光测量；
直接生成高分辨率的三维点云图，可提取任意点的高度；
兼顾2D 影像测量，可精准测量焊球的直径和引脚的宽度、间距等；
软件算法功能强大，编程方便快捷，测量结果即扫即出；
可支持单一工件测量，也可将工件放置在治具或Tray 盘内进行批量阵列测量；
整机主体框架采用自研龙门大理石结构，保证整机超高精度与持久性；
整机一体化人体工学设计，用户操作方便舒适。
端子平坦度共面性测试仪技术参数
型号 | PZ-430D |
仪器外形尺寸(LxWxH)(mm) | 1100×1000×1800 |
仪器净重(kg) | 900 |
XY轴激光量程(mm) | 400x300 |
XY轴视觉量程(mm) | 300x300 |
Z轴运动量程(mm) | 100 |
XYZ光栅数显分辨率(μm) | 0.1 |
载物台承重(kg) | 5 |
测量精度Eux,Y(μm)[1 | 2.5+L/200 |
光学镜头倍率 | 0.7-4.5倍 |
视频总放大倍率121 | 18-230倍 |
光学镜头物方视场(mm) | 约1-10 |
光学镜头工作距离(mm) | 约80-90 |
底光源、环形表面光源 | 程控LED冷光源 |
线激光Z向静态测量范围(mm) | 18 |
激光线总宽度(mm) | 31 |
线激光Z向静态示值误差(μm) | ±3.6 |
激光线点间距(μm) | 12 |
电源要求 | AC220V,50/60HZ,1500W(注：需有电阻≤40接地线) |
工作环境 | 温度20℃±2℃,湿度30%-80%,振动<0.002g,低于15Hz,远离振源 |
备注 | [1]L表示测量长度，以毫米为单位；Z轴精度依专用标准器检验数据为准 [2]放大倍率为近似值，具体值与显示器的尺寸以及显示器的分辨率相关 由于产品的不断改进，相关参数变更恕不另行通知 |
软件测量功能
视觉测量可对点、线、圆弧、圆、矩形、椭圆、键槽(腰型特征)、开曲线、闭曲线、平面、圆柱、圆锥、球等几何元素进行测量。当Z轴增加测头或激光位移传感器等设备后还可对3D图形元素如圆柱、圆锥、圆球、以及三维空间内的面进行测量。根据元素的实际特征，每种元素可采用多种不同的方法测量。寻边结束即可直接获取出元素的坐标值、长度、面积、体积等数据。
丰富开放的外设连接功能
软件支持连接接触式测头、点或线激光位移传感器、光谱共焦位移传感器、机械手等外接设备，并且能将这些设备整合在一起，更精确的测量工件的高度及３Ｄ尺寸。
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